6205-Clase de Juntura Metal-Semiconductor

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 Drs. Rebollo- Ozols 1 FIUBA 2006 Dra. Mar ía Reb o l l o Dra. Mar ía Reb o l l o Dr. Dr.  Andres  A n d r es Ozols Ozols JUNTURA METAL JUNTURA METAL SEMICONDUCTOR SEMICONDUCTOR

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clase juntura m.sc

Transcript of 6205-Clase de Juntura Metal-Semiconductor

  • Drs. Rebollo- Ozols 1

    FIUBA

    2006

    Dra. Mara RebolloDra. Mara Rebollo

    Dr. Dr. AndresAndres OzolsOzols

    JUNTURA METAL JUNTURA METAL SEMICONDUCTORSEMICONDUCTOR

  • Drs. Rebollo- Ozols 2

    gc()

    dn/d

    g()

    F c

    dp/d

    F

    vgv()

    dn/d

    Metal Semiconductor

    CARACTERISTICAS CUALITATIVAS Juntura Metal CARACTERISTICAS CUALITATIVAS Juntura Metal -- SemiconductorSemiconductor

    Los Diagramas de bandas de Energa

  • Drs. Rebollo- Ozols 3

    CARACTERISTICAS CUALITATIVAS Juntura Metal CARACTERISTICAS CUALITATIVAS Juntura Metal -- SemiconductorSemiconductor

    Barrera Schottky

    MetalSemiconductor tipo N

    m S >Diagrama de bandas de Energa

    (antes del contacto)

    EF en Semiconductor por encima de la EF

    Flujo de electrones para EF cte

  • Drs. Rebollo- Ozols 4

    0

    Juntura Metal Juntura Metal Semiconductor tipo NSemiconductor tipo N

    El potencial de contacto

    (Potencial visto por los electrones de la banda de conduccin)

    Metal

    Zona de vaciamiento

    (carga positiva)

    Semiconductor tipo N

    m S >

    0( )B m =

    ( )0 B C FE E =

    Potencial de Schottky

    A-

  • Drs. Rebollo- Ozols 5

    Juntura Metal Juntura Metal Semiconductor tipo NSemiconductor tipo N

    m S

  • Drs. Rebollo- Ozols 6

    Funciones de trabajo Funciones de trabajo

    4.55W

    4.33Ti

    5.65Pt

    5.12Pd

    5.15Ni

    4.6Mo

    4.5Cr

    5.1Au

    4.28Al

    4.26Ag

    Funcin de trabajo

    Elemento

    Afinidad Electrnica Afinidad Electrnica

    3.5AlAs

    4.07GaAs

    4.01Si

    4.13Ge

    Afinidad Electrnica

    Elemento

  • Drs. Rebollo- Ozols 7

    ( )S

    xdEdx

    =

    La ley de Poisson:

    Campo ElctricoCampo ElctricoLa distribucin de carga en la juntura metal SC tipo N

    xn

    NDQ+ = eNDxnA

    Q- = -eNDxnA

    x

  • Drs. Rebollo- Ozols 8

    Campo ElctricoCampo Elctrico

    1d d

    S S

    eN eNE dx x C = = +

    ( ) 0nE x =

    La condicin de contorno

    1d

    S

    eNC = ( )d

    nS

    eNE x x=

    C1 = cte.

    maxd

    nS

    eNE x=

    dn

    S

    eN x

  • Drs. Rebollo- Ozols 9

    Potencial ElctricoPotencial Elctrico

    El potencial se obtiene integrando el campo:

    1( ) ( ) 'x E x dx C = + C1 = cte.1( ) ( ) 'D n

    S

    eNx x x dx C = +( ) 2 1( ) '2D nS

    eN xx xx C +2

    0( ) (0) 2D n

    nS

    eN xx = = =La diferencia de potencial en la zona de vaciamiento:

  • Drs. Rebollo- Ozols 10

    ( ) 0nx =EligiendoPotencial ElctricoPotencial Elctrico

    2

    1' 2D n

    S

    eN xC =

    2n( ) (x -x)2

    DeNx =

    0(0) = y -0

    xn x

    0(x)

  • Drs. Rebollo- Ozols 11

    La energa potencial de los electrones es

    Potencial ElctricoPotencial Elctrico

    02

    nD

    2

    e(0)e-y x)-(x2Ne )x(e ==

    e0

    xn x

  • Drs. Rebollo- Ozols 12

    Ancho de la zona de vaciamientoAncho de la zona de vaciamiento

    ( )2 OSn

    d

    VW x

    eN = =

    Es obtenido a partir de la expresin de la juntura pn,

    nW x= 0aN =

  • Drs. Rebollo- Ozols 13

    c

    eeB

    eM

    eS

    e0

    v

    F- + +- + +- + +

    o

    Juntura Metal Juntura Metal Semiconductor fuera de EquilibrioSemiconductor fuera de Equilibrio

  • Drs. Rebollo- Ozols 14

    Polarizacin directa

    (aplicado potencial +V)

    0 V

    Juntura Metal Juntura Metal Semiconductor fuera de EquilibrioSemiconductor fuera de Equilibrio

    metal semiconductor+ -

    Polarizacin directa V0>0

  • Drs. Rebollo- Ozols 15

    Polarizacin Inversa

    (aplicado potencial V)

    metalsemiconductor

    - +

    Polarizacin inversa V0

  • Drs. Rebollo- Ozols 16

    Capacidad de JunturaCapacidad de Juntura

    ( )2 On S d

    ddx e NC AeN AdV V

    = =

    La capacidad es obtenida a partir de la expresin de la juntura pn, (bajo condiciones de seal pequea)

    D00nD N)V(e2AxAeNQ ==La carga espacial cambia con la polarizacin

    )V(NeA

    2C1

    00D

    22 =

    A= rea de juntura

    0 V0

    1/C2

  • Drs. Rebollo- Ozols 17

    Caracterstica corrienteCaracterstica corriente--voltajevoltaje

    Sin polarizacin:

    La corriente de electrones compuesta por

    JnS-M: la corriente de electrones de la banda de conduccin que fluye desde SC al metal. Estos electrones tienen suficiente energa como para saltar el potencial de contacto 0.JnM-S: la corriente de electrones desde el metal al semiconductor. En este caso los electrones deben superar el potencial B.

    En equilibrio JnS-M = JnM-S.

  • Drs. Rebollo- Ozols 18

    Caracterstica corrienteCaracterstica corriente--voltajevoltaje

    La corriente de huecos est compuesta de:

    JpM-S : la corriente de huecos desde el metal al semiconductor. Se compone de huecos que se generan en la superficie del semiconductor cuando electrones de la banda de valencia pasan a ocupar estados accesibles dentro del metal.

    JpS-M: la corriente de huecos desde el semiconductor al metal. Se compone de huecos que llegan desde el interior del semiconductor y desaparecen en la superficie cuando atrapan un electrn del metal.

    En equilibrio JpS-M = JpM-S.

  • Drs. Rebollo- Ozols 19

    La corriente de electrones desde el semiconductor al metal, debe ser proporcional al nmero de electrones cuya energa supere 0-V.

    Caracterstica corrienteCaracterstica corriente--voltajevoltaje

    Con polarizacin directa:

    El electrn que llega a la superficie desde la banda de conduccin:

    )V(emv21

    002

    mn x La corriente de estos electrones:

    S-M

    mn mn

    n x xI (-e) -v vx xv v

    dn e dn

    = =

  • Drs. Rebollo- Ozols 20

    Caracterstica corrienteCaracterstica corriente--voltajevoltaje

    El nmero de electrones con velocidades (vx y vx+dvx; vy y vy+dvy; vz y vz+dvz):

    3

    3zyx

    zyxzyxFDzyx

    hm2)v,v,v(g

    dvdvdv)v,v,v(f)v,v,v(gdn

    =

    =

    La aproximacin de Boltzmann:

    zyxkT/)(

    3

    3dvdvdve

    hm2dn F=

  • Drs. Rebollo- Ozols 21

    S-M

    mn mn

    3( ) /

    n x x30 0 0 0

    2I v v Fx x

    kTx y z

    v v

    eme dn e dv dv dvh

    = =

    Caracterstica corrienteCaracterstica corriente--voltajevoltaje

    )vvv(m21 2

    z2y

    2xc +++=

    22 2

    mn

    3( ) / 2 2 2

    30 0

    2 yx zc F

    S M

    x

    mvmv mvkT kT kT kT

    n x x y zv

    emI e v e dv e dv e dvh

    =

    con:

  • Drs. Rebollo- Ozols 22

    Caracterstica corrienteCaracterstica corriente--voltajevoltaje

    mkT2dvedve z

    0

    kT2mv

    y0

    kT2mv 2z

    2y ==

    kT2mv

    vxkT2

    mv

    x

    mn x2

    mn x

    2x

    emkTdvev

    =

    Pero:

    2 mn

    ( ) /2 23

    4 ( )x

    c F

    S M

    mvkTkT

    ne mI kT e e

    h

    =

  • Drs. Rebollo- Ozols 23

    Caracterstica corrienteCaracterstica corriente--voltajevoltaje

    La regin de contacto es muy delgada

    los electrones pasan al metal por efecto tnel cuando su energa cumpla la condicin

    )V(emv21

    002

    x

    La energa mnima )V(emv21

    002

    mn x =

    kT/)(kT/)V(e23MnS

    Fc00 ee)kT(h

    m4eI =

  • Drs. Rebollo- Ozols 24

    Caracterstica corrienteCaracterstica corriente--voltajevoltaje

    [ ] kT/)(e23SnMMnS

    Fc0e)kT(h

    m4eII +==

    Si V = 0

    BFc0 e)(e =+Segn el grfico de bandas en equilibrio

    Fc

    eB e0

    v

    - + +- + +- + +

    o

    kT/e23SnMMnS

    Be)kT(h

    m4eII ==

  • Drs. Rebollo- Ozols 25

    Caracterstica corrienteCaracterstica corriente--voltajevoltaje

    Si V > 0

    La corriente desde el semiconductor al metal se modifica pues la barrera ser e(0-V). La corriente desde el metal al semiconductor no se modifica pues la barrera que deben saltar los electrones sigue siendo 0.La corriente neta en la juntura fuera del equilibrio ser:

    0( ) / /2 23 3

    4 4( ) ( )B Be V kT e kTn nM S nS Me m e mI I I kT e kT e

    h h

    = =

    ( )0 //234 ( ) 1B eV kTe kTn e mI kT e eh =

  • Drs. Rebollo- Ozols 26

    ( )0 / 1 eV kTn SI I e=

    Ecuacin del diodo idealEcuacin del diodo idealI

    V0IS

  • Drs. Rebollo- Ozols 27

    CONTACTOS NO RECTIFICANTES (HMICOS)CONTACTOS NO RECTIFICANTES (HMICOS)

    FMFS

    e(0 -V0)eB c

    vFS

    FMe(0 +V0)

    eB

    V

    C

    Un contacto M-SC se hace hmico si el efecto de la barrera se hace despreciable.

    Por ejemplo dopando fuertemente al semiconductor se puede reducir el ancho de la carga espacial. Se produce efecto tnel para ambos tipos de polarizacin.

    Cuando el contacto ofrece una resistencia despreciable al flujo de corriente el contacto es hmico.

    CONTACTO TNEL

  • Drs. Rebollo- Ozols 28

    Contactos hmicos de Contactos hmicos de SchottkySchottky

    m > SJuntura metal- semiconductor tipo-P

    e

    eBc

    eM

    eS

    e0

    v

    F

    - + +- + +- + +

    o

    m < S

    Juntura metal- semiconductor tipo-N

    v

    ceMeS

    e

    o

    F

    e0

    + --+ --+ --

    CONTACTOS NO RECTIFICANTES (HMICOS)CONTACTOS NO RECTIFICANTES (HMICOS)

  • Drs. Rebollo- Ozols 29

    Ejemplo 1Ejemplo 1

    Calcule0

    maxEEl Campo elctrico mximo

    SC: Si tipo n, dopado

    Metal: W

    El potencial de contacto

    16 310dN cm= 10 310in cm=

    4.01e eV =300T K=

    4.55me eV =Datos

    El ancho de la zona de vaciamiento W

    La capacitancia de juntura C

  • Drs. Rebollo- Ozols 30

    Ejemplo 1Ejemplo 1

    SC fuertemente extrnseco

    ( )4.55 4.01 0.54B m eV eV = = =La Barrera de Schoctky

    El potencial de contacto ( )0 B C FE E =

    La distancia ente la banda de conduccin y EF

    ( )C FE EKT

    C dn N e N= ln CC F

    d

    NE E KTN

    =

  • Drs. Rebollo- Ozols 31

    19

    16

    1 2.810ln 0.20640 10C F

    E E eV eV = =

    ( ) ( )0 0.54 0.206 0.33B C FE E eV eV = = =

    Ejemplo 1Ejemplo 1El potencial de contacto

    El ancho de la zona de vaciamiento

    ( )2 OSn

    d

    Vx W

    eN = =

  • Drs. Rebollo- Ozols 32

    ( )14 419 16

    2(11.7)(8.8510 ) 0.330.207 10 0.207

    (1.610 )10W x cm m

    = = =

    El ancho de la zona de vaciamiento

    El Campo elctrico mximo

    ( )( )( )( )

    19 16 44 1

    max 14

    1.610 10 0.207103.210

    11.7 8.8510d n

    S

    eN xE Vcm

    = = =

  • Drs. Rebollo- Ozols 33