Φυσικές διεργασίες παραγωγής λεπτών υμενίων και...
If you can't read please download the document
description
Φυσικές διεργασίες παραγωγής λεπτών υμενίων και στρωματικών υλικών. Όνομα φοιτητή : Πάσχος Θεόδωρος Υπεύθυνη καθηγήτρια : κ.Παπαδημητρίου. Λεπτά υμένια (γενικά). Η τεχνολογία λεπτών υμενίων δημιουργήθηκε από την ανάγκη για νέα,προηγμένα υλικά και συστήματα με νέες ιδιότητες και συμπεριφορά - PowerPoint PPT Presentation
Transcript of Φυσικές διεργασίες παραγωγής λεπτών υμενίων και...
-
: :.
-
() , : 1. 2.E 3.
-
( ) (, - ) ( - , .) ()
-
: (PVD,CVD,EBE,IBE,LPD) (ECD) (plasma spraying) : () (MOVPE)
-
PVD :
:
-
(thin films,coatings)
(multilayered structures)
(carrier gas)
-
(ion plating)
-
E
Work-accelerated gun
Self-accelerated gun
:
-
(Growth modes)
Growth process
Growth parameters
Layer thickness
Strained layers
-
;
=- + +
: = = =
=0 3-D > Volmer-Weber < Frank van der Merve Stranski - Krastanov
-
VW ( )
-
ZnSe /(Zn,Cd)Se
-: , , ,
GaAs
-
ZeSe GaAs
-
ZnSe /(Zn,Cd)Se
(10^-12 mbar) / (310 C)
-
(RD,SEM) (Raman/IR, PR/PL, Ellipsometry) (I-V,C-V,Hall condactivity) (crystal monitor detector,ellipsometry)
-
Handbook of deposition technologies for films and coatings(Rointan F. Bunshah)Handbook of chemical vapor depositon(Hugh O. Pierson)Thermal analysis of materials(Robert F.Speyer)Science and engineering of materials (Donald R. Askeland)The dynamics of thin film growth:A modeling study (M.A. Gallivan, R.M. Murray, D.G. Goodwin)Internet(Wikipedia)
