Φυσικές διεργασίες παραγωγής λεπτών υμενίων και...

download Φυσικές διεργασίες παραγωγής λεπτών υμενίων και στρωματικών υλικών

If you can't read please download the document

  • date post

    10-Jan-2016
  • Category

    Documents

  • view

    52
  • download

    6

Embed Size (px)

description

Φυσικές διεργασίες παραγωγής λεπτών υμενίων και στρωματικών υλικών. Όνομα φοιτητή : Πάσχος Θεόδωρος Υπεύθυνη καθηγήτρια : κ.Παπαδημητρίου. Λεπτά υμένια (γενικά). Η τεχνολογία λεπτών υμενίων δημιουργήθηκε από την ανάγκη για νέα,προηγμένα υλικά και συστήματα με νέες ιδιότητες και συμπεριφορά - PowerPoint PPT Presentation

Transcript of Φυσικές διεργασίες παραγωγής λεπτών υμενίων και...

  • : :.

  • () , : 1. 2.E 3.

  • ( ) (, - ) ( - , .) ()

  • : (PVD,CVD,EBE,IBE,LPD) (ECD) (plasma spraying) : () (MOVPE)

  • PVD :

    :

  • (thin films,coatings)

    (multilayered structures)

    (carrier gas)

  • (ion plating)

  • E

    Work-accelerated gun

    Self-accelerated gun

    :

  • (Growth modes)

    Growth process

    Growth parameters

    Layer thickness

    Strained layers

  • ;

    =- + +

    : = = =

    =0 3-D > Volmer-Weber < Frank van der Merve Stranski - Krastanov

  • VW ( )

  • ZnSe /(Zn,Cd)Se

    -: , , ,

    GaAs

  • ZeSe GaAs

  • ZnSe /(Zn,Cd)Se

    (10^-12 mbar) / (310 C)

  • (RD,SEM) (Raman/IR, PR/PL, Ellipsometry) (I-V,C-V,Hall condactivity) (crystal monitor detector,ellipsometry)

  • Handbook of deposition technologies for films and coatings(Rointan F. Bunshah)Handbook of chemical vapor depositon(Hugh O. Pierson)Thermal analysis of materials(Robert F.Speyer)Science and engineering of materials (Donald R. Askeland)The dynamics of thin film growth:A modeling study (M.A. Gallivan, R.M. Murray, D.G. Goodwin)Internet(Wikipedia)