ΙI Υιηθά γηα Ναλνειεθηξνληθέο...
Transcript of ΙI Υιηθά γηα Ναλνειεθηξνληθέο...
ΙI – Υιηθά γηα Ναλνειεθηξνληθέο Γηαηάμεηο
Μάζεκα: Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία – ΑΤΔΙ Πεηξαηά – Τκήκα Μεραληθώλ Τ.Δ.
Αγσγνί – Μνλσηέο – Ηκηαγσγνί
10/23/2016 2 Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία – ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. – Σαξάθεο Παλαγηώηεο
Διηλεκηπικά ή Μονυηέρ
Μονυηήρ είλαη θάζε πιηθό ην νπνίν
δελ επηηξέπεη ηελ ειεύζεξε δηέιεπζε
ηνπ ειεθηξηθνύ θνξηίνπ από ηε κάδα
ηνπ.
Γελ ππάξρνπλ ηέλειοι μονυηέρ πνπ
λα απαγνξεύνπλ εληειώο ηε
δηέιεπζε ηνπ ειεθηξηθνύ θνξηίνπ.
Μεξηθά πιηθά ηηο πεξηζζόηεξεο
θνξέο ζπκπεξηθέξνληαη σο ηέιεηνη
κνλσηέο.
Μεξηθνί κνλσηέο είλαη ην πλαζηικό,
ηα κεπαμικά ςλικά, ηο γςαλί.
Δπίζεο ν αημοζθαιπικόρ αέπαρ
είλαη έλαο κνλσηήο.
Αγυγοί
Ωο αγυγοί ραξαθηεξίδνληαη ηα πιηθά πνπ επηηξέπνπλ ηελ ειεύζεξε θίλεζε ειεθηξηθώλ θνξηίσλ κέζσ απηώλ. Γελ ππάξρνπλ ηέιεηνη αγσγνί.
H αγσγή γίλεηαη κέζσ ησλ ελεύθεπυν θοπέυν (ηλεκηπόνια, οπέρ, ιόνηα) πνπ δηαζέηνπλ απηά ηα πιηθά.
Πνιιά μέηαλλα είλαη θαινί αγσγνί π.ρ. ν σαλκόρ (Cu) θαη ην αλοςμίνιο (Al).
Υπάξρνπλ θαη μη μεηαλλικοί αγυγοί π.ρ. γπαθίηηρ, αγώγιμα πολςμεπή
Ημιαγυγοί
Ημιαγυγόρ είλαη θάζε πιηθό πνπ έρεη εηδηθή
αληίζηαζε κε ηηκέο ανάμεζα ζε απηέο ησλ κνλσηώλ
(κεγάιε) θαη ησλ αγσγώλ (κηθξή) θαη πνπ εκθαλίδεη
ξαγδαία κείσζε ηεο εηδηθήο ηνπ αληίζηαζεο κε ηελ
αύμεζε ηεο ζεξκνθξαζίαο ηνπ.
H αγσγή γίλεηαη κέζσ ησλ ελεύθεπυν θοπέυν
(ηλεκηπόνια, οπέρ) πνπ δηαζέηνπλ απηά ηα πιηθά.
Τππηθνί εκηαγσγνί είλαη ην πςπίηιο (Si) θαη ην
γεπμάνιο (Ge). Αιιηώο ρξεζηκνπνηνύκε μη
μονομοπιακά ςλικά όπσο GaAs, InGaAs θ.α.
Γηα λα ιεηηνπξγήζνπλ ζαλ εκηαγσγνί ζε ζ δσκαηίνπ
ζέινπλ πποζμίξειρ όπσο θώζθνξν (P), αξζεληθό
(As), βόξην (B), αξγίιην (Αl) ή γάιιην (Ga).
Βαζηθέο Ιδηόηεηεο ησλ Υιηθώλ
Αγσγνί – Μνλσηέο – Ηκηαγσγνί
10/23/2016 4 Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία – ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. – Σαξάθεο Παλαγηώηεο
Διηλεκηπικά ή Μονυηέρ Αγυγοί
Φακειή Υςειή Μέηξηα
Ημιαγυγοί
Γηάθνξεο ηηκέο εr < 0 Γηάθνξεο ηηκέο
(εr,Si = 11.7)
Δηδηθή αγσγηκόηεηα
Γηειεθηξηθή ζηαζεξά
Υςειή (ξ > 102 Ω.m)
Φακειή (< 10-6 Ω.m)
Μέηξηα (10 Ω.m > ξ > 10-4 Ω.m)
Δηδηθή αληίζηαζε
Αηνκηθή Γνκή
10/23/2016 5 Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία – ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. – Σαξάθεο Παλαγηώηεο
22N n
Αλαιόγσο κε ηα άηνκα πνπ έρνπλ ζηε
ζηνηβάδα ζζέλνπο ηα πιηθά
ζρεκαηίδνπλ δεζκνύο
Απιή πξνζέγγηζε:
Η θάζε ζηνηβάδα κε θύξην θβαληηθό
αξηζκό n ρσξάεη 2n2 ειεθηξόληα
Σηνηβάδα Σζέλνπο θαη Σηνηβάδα Αγσγηκόηεηαο
10/23/2016 6 Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία – ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. – Σαξάθεο Παλαγηώηεο
Δλεξγεηαθό Γηάθελν
Άπεηξνο θξύζηαιινο
κε άηνκα δύν ζηνηρείσλ
10/23/2016 Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία – ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. – Σαξάθεο Παλαγηώηεο 7
Δλεξγεηαθό Γηάθελν ζηα Υιηθά
Βαζηθέο Ιδηόηεηεο Μνλσηώλ
Γηειεθηξηθά ή Μνλσηέο
• Μονυηήρ είλαη θάζε πιηθό ην νπνίν δελ επηηξέπεη ηελ ειεύζεξε δηέιεπζε ηνπ ειεθηξηθνύ θνξηίνπ από ηε κάδα ηνπ.
• Τέλειοι μονυηέρ πνπ λα απαγνξεύνπλ εληειώο ηε δηέιεπζε ηνπ ειεθηξηθνύ θνξηίνπ από κέζα ηνπο δελ ππάξρνπλ, αιιά κεξηθά πιηθά ηηο πεξηζζόηεξεο θνξέο ζπκπεξηθέξνληαη σο ηέιεηνη κνλσηέο.
• Μεξηθνί κνλσηέο είλαη ην πλαζηικό, ηα κεπαμικά ςλικά, ηο γςαλί. Δπίζεο ν αημοζθαιπικόρ αέπαρ είλαη έλαο κνλσηήο.
10/23/2016 9 Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία – ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. – Σαξάθεο Παλαγηώηεο
Σηνηβάδα Αγσγηκόηεηαο
(Valence Band)
Σηνηβάδα Σζέλνπο
(Valence Band) Δλέξ
γεη
α Σ
ηνηβ
άδ
αο (
eV
)
Δλεξ
γεη
αθό
Γηά
θελ
ν
Δb
g
Μεγάιν Ebg
ζηνπο
κνλσηέο
Μνλσηέο
• Τα ειεθηξηθά πεδία πνπ αλαπηύζζνληαη ζην εζσηεξηθό ηνπο δηαηεξνύληαη γηα απκεηά μεγάλο σπονικό διάζηημα.
• Καηά ηελ επίδξαζε ειεθηξηθνύ πεδίνπ ζηα πιηθά απηά δεκηνπξγνύληαη ηλεκηποζηαηικά δίπολα πος πποζαναηολίζονηαι καηάλληλα υρ ππορ ηο πεδίο (διεπγαζία πόλυζηρ) ελώ ε εηδηθή ειεθηξηθή ηνπο αληίζηαζε παξακέλεη πςειή. Η ηδηόηεηα απηή θαζνξίδεη βαζηθά ηε δηειεθηξηθή ζπκπεξηθνξά ηνπο.
• Η δηειεθηξηθή ηνπο ζπκπεξηθνξά πεξηγξάθεηαη από ηε διηλεκηπική ζηαθεπά (dielectric coinstant)
όπνπ ε ε δηειεθηξηθή ζηαζεξά ηνπ πιηθνύ εr ε ζρεηηθή δηειεθηξηθή ζηαζεξά θαη ε0= 8.854 × 10−12 F/m ε δηειεθηξηθή ζηαζεξά ηνπ θελνύ
10/23/2016 10 Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία – ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. – Σαξάθεο Παλαγηώηεο
0r
Με πνισκέλα
Πνισκέλα από εμσηεξηθή ηάζε V
V V
Μνλσηέο ζηε Μηθξν- θαη Ναλν-ειεθηξνληθή
10/23/2016 11
Υτηλό εr (HfO2)
Φαμηλό εr (πνξώδεο SiO2)
Μεγάιε
Φσξεηηθόηεηα ζηελ
πύιε ηνπ transistor
Μηθξή
Φσξεηηθόηεηα γηα κηθξή
αιιειεπίδξαζε
κεηαμύ γξακκώλ
Σπλήζε Γηειεθηξηθά: SiO2, Si3N4, HfO2
Βαζηθέο Ιδηόηεηεο Αγσγώλ
Αγσγνί
• Ωο αγυγοί ραξαθηεξίδνληαη ηα πιηθά πνπ επηηξέπνπλ ηελ ειεύζεξε θίλεζε ειεθηξηθώλ θνξηίσλ κέζσ απηώλ. Γελ ππάξρνπλ ηέιεηνη αγσγνί.
• H αγσγή γίλεηαη κέζσ ησλ ελεύθεπυν θοπέυν (ηλεκηπόνια, οπέρ, ιόνηα) πνπ δηαζέηνπλ απηά ηα πιηθά.
• Πνιιά μέηαλλα είλαη θαινί αγσγνί π.ρ. ν σαλκόρ (Cu) θαη ην αλοςμίνιο (Al).
• Υπάξρνπλ θαη μη μεηαλλικοί αγυγοί π.ρ. γπαθίηηρ, αγώγιμα πολςμεπή
10/23/2016 13 Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία – ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. – Σαξάθεο Παλαγηώηεο
Σηνηβάδα Σζέλνπο
(Valence Band)
Σηνηβάδα Αγσγηκόηεηαο
(Valence Band)
Σηνπο αγσγνύο Eg = 0
Η α
ιιε
ιεπ
ηθά
ιπς
ε δ
εκ
ηνπξ
γεί
π
ολ
λο
ύρ ε
λεύ
θεπ
ος
ρ θ
νξ
είο ζ
ε α
πηά
ηα
πιηθ
ά
Δλέξ
γεη
α Σ
ηνηβ
άδ
αο (
eV
)
Σύγκποςζη ηυν
ελεύθεπυν
ηλεκηπονίυν με ηα
ιόνηα ηος πλέγμαηορ
(κόξηα πνπ ηνπο ιείπεη
ην ειεθηξόλην)
10/23/2016 14
Αγσγνί: Ηιεθηξηθή Αληίζηαζε
Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία – ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. – Σαξάθεο Παλαγηώηεο
Μεηαιιηθά ηόληα πνπ ηαιαληώλνληαη
γύξσ από ηελ θεληξηθή ηνπο ζέζε
Ξέλα άηνκα ζην
πιέγκα
Διεύζεξα ειεθηξόληα
V-
Αξ
λεηη
θή
ηάζ
ε
V+
Θεη
ηθή
ηάζ
ε
Άδεηεο ζέζεηο
V dVR
I dI
Νόκ
νο
Ohm
Ηλεκηπική Ανηίζηαζη
Μεηάλλυν
10/23/2016 15
Αγσγνί: Υπνινγηζκόο Αληίζηαζεο – Δηδηθή Αληίζηαζε
Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία – ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. – Σαξάθεο Παλαγηώηεο
lR
A
Η αληίζηαζε είλαη αλάινγε ηνπ κήθνπο ηνπ
αγυγού ( l ) θαη αληηζηξόθσο αλάινγε ηεο
διαηομήρ ηος ( Α )
ρ = εηδηθή αληίζηαζε θαη είλαη ηδηόηεηα ηνπ θάζε
πιηθνύ ζε ζπγθεθξηκέλεο ζπλζήθεο (επεξεάδεηαη
από ηε ζεξκνθξαζία Τ).
Αγσγηκόηεηα: A
Gl
[Ω]
[S/m]
[Ω.m] [Ω•m]
1
[S=1/Ω]
Αγσγνί: Άζθεζε Ηιεθηξηθήο Αληίζηαζεο Καισδίνπ
d L = 10 cm
d = 1 cm Πολλά παράλληλα καλώδια
Πξόβιεκα
1. Πνηα ε αληίζηαζε ράιθηλνπ
ζύξκαηνο κήθνπο L=10 cm
θαη δηακέηξνπ d=1cm (Χαλκός: ρ = 1.68·10-8 Ω.m)
2. Πνηα ε αληίζηαζε 5 ηέηνησλ
παξάιιεισλ θαισδίσλ
Λύζε
A = πr2=π(d/2)2=0.785 cm2
R=ξ·L/A=1.68·10-8 · 10-2 / (0.785 · 10-4) Ω =
= 2.14 · 10-6 Ω = 2.14 κΩ
R5=R/5 = 0.428 κΩ
Χαλκός: ρ = 1.68·10-8 Ω.m
10/23/2016 Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία – ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. – Σαξάθεο Παλαγηώηεο 17
Μέηαιια ζην Back End of Line ησλ IC
Σε θάζε ηερλνινγία π.ρ. 22 nm,
14 nm ηο πάσορ ηος κάθε
μεηαλλικού ζηπώμαηορ είναι
ζηαθεπό
Παιηά (1997-) αινπκίλην (Al)
ρ = 2.65·10-8 Ω.m
Τώξα (1997+) ραιθόο (Cu)
ρ = 1.68·10-8 Ω.m
Αληίζηαζε
θύιινπ
Γηαζπλδέζεηο ηξαλδίζηνξ θαη δηαθνξεηηθώλ ππνζπζηεκάησλ
Σύγρξνλεο ηερλνινγίεο έρνπλ
~12 layers κεηάιινπ
Μέηαιια: Υπνινγηζκόο Αληίζηαζεο Φύιινπ
l L LR
A tW t W
s
LR R
W
Ανηίζηαζη Φύλλος
Sheet resistance (Rs) [Ω/□, Ω□]
s
R WR R
L L
W
sRt
Rs = 5Ω
R = 65 Ω 13 □
Rs Rs Rs
Rs
Rs
Rs Rs Rs
Rs Rs Rs Rs
Rs
Μέηαιια: Άζθεζε Ηιεθηξηθήο Αληίζηαζεο
Rtotal
R1
R2
R3
R4
+ ΓV - Πξόβιεκα
Αλ ε αληίζηαζε Rs = 5 Ω/□,
ππνινγίζηε:
• ηηο αληηζηάζεηο R1, R2, R3, R4
• ηε ζπλνιηθή αληίζηαζε Rtotal
Λύζε
R3 = Rs × 36 / 1 = 180 Ω
R1 = Rs × 36 / 4 = 45 Ω
R2 = Rs × 36 / 3 = 60 Ω
R4 = Rs × 36 / 2 = 90 Ω
Rtotal=R1//R2//R3//R4= Rs × 36/10 = 18 Ω
Μηθξνζθνπηθή Γνκή ζηξσκάησλ Φαιθνύ
Κάηοτη
νανοκαλυδίος Cu
Οη άζπξεο γξακκέο
δείρλνπλ ηα όξηα ησλ
θόθθσλ ηνπ Cu
Τα πιηθά θαηά ηελ θαηαζθεπή
ηνπο δνκνύληαη ζε
κπςζηαλλικούρ κόκκοςρ
Αλαιόγσο κε ηε κέζνδν
θαηαζθεπήο έρνπκε θαη ην
κέγεζνο ησλ θόθθσλ
Μέζε Διεύζεξε Γηαδξνκή (mean free path
– MFP) ησλ e- νξίδεηαη σο ε απόζηαζε
πνπ δηαλύνπλ κεηαμύ δύν ζπγθξνύζεσλ
ζηα ηαιαληνύκελα ηόληα
• Bulk: ην MFP εμαξηάηαη από ηα ηόληα
• Νανοκλίμακα: ην MFP εμαξηάηαη από
ηελ απόζηαζε κεηαμύ θόθθσλ αιιά θαη
ησλ δηαζηάζεσλ
Αληίζηαζε ζε Ναλνκεηξηθέο Γηαζηάζεηο
Ναλνλήκαηα – Nanowires
t = 130nm R
esis
tivity (
10
-8 Ω
.m)
Resis
tivity (
10
-8 Ω
.m)
Πάρνο Cu (nm)
Πιάηνο λαλνλήκαηνο Cu (nm)
Όηαλ νη διαζηάζειρ γίνονηαι ζςγκπίζιμερ με ηη μέζη ελεύθεπη διαδπομή
Δπεξεάδεηαη ε εηδηθή αληίζηαζε από ην πιάηνο θαη ην πάρνο ησλ γξακκώλ
bulk
ιεπηό
πκέλην
λαλνλήκα
Μέηαιια: Δμάξηεζε Αληίζηαζεο από Θεξκνθξαζία
0 0( ) 1 (T T )R T R a
Απμάλεηαη ε ζεξκνθξαζία
Μεγαιώλνπλ νη ηαιαληώζεηο ηνπ πιέγκαηνο
Απμάλεηαη ε εηδηθή αληίζηαζε ηνπ κεηάιινπ
Απμάλεηαη ε αληίζηαζε ηνπ θαισδίνπ
0 0( ) 1 (T T )T a
θαιώδην
• Τ ε ηξέρνπζα ζεξκνθξαζία, Τ0 ε ζεξκνθξαζία
αλαθνξάο, R0 = R(T0) ε αληίζηαζε ζηε
ζεξκνθξαζία αλαθνξάο
• α είλαη έλαο εκπεηξηθόο ζπληειεζηήο πνπ πξνθύπηεη πξνζεγγηζηηθά γηα θάζε πιηθό. Δμαξηάηαη από ηε
ζεξκνθξαζία. Γιδ α = α(Τ). Για απλούζηεςζη ηον θευπούμε ζηαθεπό για ένα εύπορ θεπμοκπαζιών.
10/23/2016 23
Δπηδεξκηθό Φαηλόκελν ζηα Μεηαιιηθνύο Αγσγνύο
Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία – ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. – Σαξάθεο Παλαγηώηεο
Σε πςειέο ζπρλόηεηεο ην ξεύκα δελ άγεηαη από όιε ηε δηαηνκή ηνπ πιηθνύ
Δμαηηίαο επαγσγηθώλ θαηλνκέλσλ ηα ειεθηξόληα
καδεύνληαη πξνο ηα ηνηρώκαηα ηνπ αγσγνύ
Τν βάζνο όπνπ ε ζπγθέληξσζε ησλ
ειεθηξνλίσλ πέθηεη ζην 1/e νλνκάδεηαη
skin depth θαη είλαη ίζν κε:
Η ζπγθέληξσζε εμηζνξξνπείηαη εμαηηίαο ησλ
απσζηηθώλ δπλάκεσλ κεηαμύ ησλ ειεθηξνλίσλ
2
2 f
Βαζηθέο Ιδηόηεηεο Ηκηαγσγώλ
10/23/2016 25
Ηκηαγσγνί
• Ημιαγυγόρ είλαη θάζε πιηθό πνπ έρεη εηδηθή αληίζηαζε κε ηηκέο
ανάμεζα ζε απηέο ησλ κνλσηώλ (κεγάιε) θαη ησλ αγσγώλ
(κηθξή) θαη πνπ εκθαλίδεη ξαγδαία κείσζε ηεο εηδηθήο ηνπ
αληίζηαζεο κε ηελ αύμεζε ηεο ζεξκνθξαζίαο ηνπ.
• H αγσγή γίλεηαη κέζσ ησλ ελεύθεπυν θοπέυν (ηλεκηπόνια,
οπέρ) πνπ δηαζέηνπλ απηά ηα πιηθά.
• Τππηθνί εκηαγσγνί είλαη ην πςπίηιο (Si) θαη ην γεπμάνιο (Ge).
Αιιηώο ρξεζηκνπνηνύκε μη μονομοπιακά ςλικά όπσο GaAs,
InGaAs θ.α.
• Γηα λα ιεηηνπξγήζνπλ ζαλ εκηαγσγνί ζε ζ δσκαηίνπ ζέινπλ
πποζμίξειρ όπσο θώζθνξν (P), αξζεληθό (As), βόξην (B), αξγίιην
(Αl) ή γάιιην (Ga).
Σηνηβάδα Αγσγηκόηεηαο
(Valence Band)
Σηνηβάδα Σζέλνπο
(Valence Band) Δλέξ
γεη
α Σ
ηνηβ
άδ
αο (
eV
)
Δλεξ
γεη
αθό
Γηά
θελ
ν
Δg Μηθξό Ebg ζηνπο
εκηαγσγνύο
Τν Εbg είλαη κηθξό έηζη ώζηε ζε Τ δσκαηίνπ κπνξνύλ λα
δημιοςπγούνηαι ελεύθεποι θοπείρ πνπ μεηαπηδούν
από ηε ζηνηβάδα ζζέλνπο ζηε ζηνηβάδα αγσγηκόηεηαο
Κξπζηαιιηθό Πιέγκα
10/23/2016 26 Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία – ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. – Σαξάθεο Παλαγηώηεο
Οη θξύζηαιινη
ραξαθηεξίδνληαη από
κία κνλαδηαία θπςειίδα
πνπ επαλαιακβάλεηαη Η θαηεύζπλζε [XXX] (π.ρ. [100]) νξίδεη ην δηάλπζκα πνπ πεξλάεη
από ην 000 θαη ην 111. Τν επίπεδν πνπ είλαη θάζεην ζε απηό ην
δηάλπζκα νλνκάδεηαη (ΦΦΦ).
Πποζαναηολιζμόρ κπςζηάλλος Si
Αλαιόγσο κε ηελ
θαηεύζπλζε αιιάδνπλ νη
ηδηόηεηεο
10/23/2016 27
Δμάξηεζε Ππθλόηεηαο Φνξέσλ από Θεξκνθξαζία
C FE
TC
E
kn N e
F VE
TV
E
kp N e
Γηα ην Si:
NC=2.86×1019 cm-
3 @ Troom
Γηα ην Si:
NV=2.66×1019 cm-3
@ Troom
Η ενέπγεια Fermi (EF) είλαη ε ελέξγεηα όπνπ ππάξρεη ίζε
πηζαλόηεηα ν θνξέαο λα είλαη είηε ζε πςειόηεξε ελέξγεηα
είηε ζε ρακειόηεξε.
/ 2 ln
2C V V
FC
E E NE kT
N
Σηνπο αλόζεπηνπο εκηαγσγνύο:
0 @ Troom
Ππθλόηε
ηα Φ
νξ
έσλ
νπέο
ειεθηξό
ληα
Δηζαγσγή Πξνζκίμεσλ ζην Si – I
10/23/2016 28 Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία – ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. – Σαξάθεο Παλαγηώηεο
Ππόζμιξη ζηο Si Τύπορ
ημιαγυγού
Boron (B) p
Phosphorus (P) n
Arsenic (As) n
Δηζαγσγή
Πξνζκίμεσλ
Αύμεζε ηεο
αγσγηκόηεηαο
ηνπ Si
Γεκηνπξγία ειεύζεξσλ ειεθηξνλίσλ
(ηύπνπ n) ή νπώλ (ηύπνπ p)
Δηζαγσγή Πξνζκίμεσλ ζην Si – II
10/23/2016 29 Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία – ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. – Σαξάθεο Παλαγηώηεο
Γηάηαμε εκθπηεπηή ηόλησλ Δκθύηεπζε Ιόλησλ Γηάρπζε Ιόλησλ
Δλεξγνπνίεζε θνξέσλ ζε κεγάιεο ζεξκνθξαζίεο
( >600 oC αλάινγα ηε δόζε, 30 min )
Δηζαγσγή Πξνζκίμεσλ ζην Si – III
10/23/2016 30 Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία – ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. – Σαξάθεο Παλαγηώηεο
Γηάηαμε εκθπηεπηή ηόλησλ
Δηζαγσγή Πξνζκίμεσλ ζην Si – IV
10/23/2016 31 Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία – ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. – Σαξάθεο Παλαγηώηεο Δηδηθή αληίζηαζε – ξ (Ω.cm)
Σπγθέλ
ηξσ
ζε θ
νξ
έσλ (
cm
-3)
Η ειδική ανηίζηαζη (ρ) είλαη ανάλογη
ηεο ζςγκένηπυζηρ ησλ ελεύθεπυν
θοπέυν δειαδή ησλ πποζμίξευν
Γεπμάνιο (Ge):
Υςειόηεξε θηλεηηθόηεηα θνξέσλ
Φακειόηεξε εηδηθή αληίζηαζε γηα
ιηγόηεξνπο θνξείο
Πςπίηιο (Si):
Yςειή εηδηθή αληίζηαζε όηαλ έρεη
ιίγνπο θνξείο (~104 Ω.cm)
ΙI – Υιηθά γηα Ναλνειεθηξνληθέο Γηαηάμεηο
10/23/2016 32
Τέινο γηα ζήκεξα …
Νανοηλεκηπονική Τεσνολογία
Θευπία: Γεπηέξα, 09:00 – 12:00
Επγαζηήπιο: Τξίηε, 09:00 – 11:00
Ναλνειεθηξνληθή Τερλνινγία – ΑΔΙ Πεηξαηά Τ.Τ. – Σαξάθεο Παλαγηώηεο