МСД Agilent серии 5977В

Agilent Technologies

МСД Agilent серии 5977В

Краткое справочное руководство для оператора

Источник ионов Стандартное техническое обслуживание

2 Краткое справочное руководство для оператора МСД серии 5977В

Очистка ионного источника

Выполните очистку компонентов, которые контактируют с пробой или ионным пучком. Другие части, как правило, не требуют очистки.

При серьезном загрязнении, например при обратном выбросе масла в анализатор, необходимо рассмотреть возможность замены загрязненных компонентов.

Выполните абразивную очистку поверхностей, контактирующих с пробой или ионным пучком.

Используйте ватную палочку, смоченную абразивной суспензией из порошка окиси алюминия и метанола. Протирайте с нажимом, чтобы удалить все цветные пятна. Полировка компонентов не требуется т. к. небольшие царапины не влияют на работоспособность. С помощью абразивного метода очистите цветные пятна там, где электроны от нити накала попадают в корпус источника.

Смойте абразивный остаток с помощью метанола (ч.д.а.).

Соблюдайте осторожность во избежание повторного загрязнения очищенных и высушенных компонентов. Наденьте новые и чистые перчатки, прежде чем взять компоненты. Не кладите очищенные части на грязную поверхность. Положите их на чистую, безворсовую ткань.

ПРИМЕЧАНИЕ При эксплуатации МСД в режиме ХИ требуется чаще выполнять очистку источника ионов. При эксплуатации в режиме ХИ, камера источника ионов загрязняется быстрее, чем при эксплуатации в режиме ЭУ, вследствие более высокого давления источника, которое требуется для ХИ.

ВНИМАНИЕ! Не затягивайте гайку отражателя слишком сильно, иначе изоляторы отражателя могут треснуть при нагреве источника. Закручивайте гайку только вручную.

ВНИМАНИЕ! Если изоляторы загрязнены, очистите их ватной палочкой, смоченной в метиловом спирте (ч.д.а.). Если изоляторы не удается очистить, замените их. Не подвергайте изоляторы абразивной или ультразвуковой очистке.

ВНИМАНИЕ! Нити накала, блок нагревателя источника и изоляторы нельзя чистить ультразвуком. При сильном загрязнении данных компонентов замените их.

Краткое справочное руководство для оператора МСД серии 5977В 3

1

2

8*

15151515 141414

2*

2*

161616

8*

12*12*12*

10

2*8*

8*7*

1718

3

88

7

1213

46

511

9

Источник ионов ЭУ — из нержавеющей стали или инертного материала

Очистите компоненты, выделенные синим цветом.

1318 3 4 6 5 11 10

1 Позолоченный стопорный винт

2 Позолоченный винт

3 Разъем интерфейса

4 Корпус источника

5 Вытяжной цилиндр

6 Вытяжная пластина

7 4-х витковая нить накала

8 Плоские и пружинные шайбы

9 Изолятор линзы

10 Входная линза

11 Линза фокусировки ионов

12 Изолятор отражателя 18 Вставка блока отражателя

13 Отражатель

14 Плоская шайба

15 Пружинная шайба

16 Гайка отражателя

17 Блок нагревателя источника


2

45

6

7

8

910

1112

1314

15

161

3

4

1

8

910

11

Высокоэффективный источник ионизации


8

6

14

2

13 1112 10

1 Позолоченный винт М2 × 6 мм

2 Блок катода 3 Высокоэффективный

двойной катод4 Винт M2 × 0,4, 12 мм5 Крепление источника 1,5 мм6 Блок отражателя

7 Блок кольцевого нагревателя/датчика

8 Корпус источника9 Керамический изолятор для

экстрактора10 Линза экстрактора (5)11 Линза пост-экстрактора 1 (4)12 Линза пост-экстрактора 2 (3)

13 Линза фокусировки ионов (2)14 Блок входной линзы (1)15 Держатель/изолятора линзы16 Кольцо крепления блока линз

Краткое справочное руководство для оператора МСД серии 5977В 5T

1

1*

2

7*

14141414 131313

2*

2*

151515

7*

11*11*11*

9

2*7* 7*

6*

1617

77

6

11

12

3

54

10

8

1217 91043

Источник ионов ЭУ — экстрактор


1 Стопорные винты

2 Винты

3 Корпус источника

4 Линза экстрактора

5 Изолятор линзы экстрактора

6 Нити накала

7 Плоские и пружинные шайбы

8 Изолятор линзы

9 Входная линза

10 Линза фокусировки ионов

11 Изолятор отражателя

12 Отражатель

13 Плоская шайба

14 Пружинная шайба

15 Гайка отражателя

16 Блок нагревателя источника

17 Вставка блока отражателя


1

14

13

15

1514

142

3

4

5

6

7

8

9

11

10

2

Источник ионов ХИ


11 9 6 5 10 8

1 Стопорный винт2 Винт катода3 Изолятор отражателя ХИ4 Изолятор линзы ХИ5 Вытягивающий цилиндр ХИ6 Вытягивающая пластина ХИ

7 Блок нагревателя источника ХИ8 Входная линза9 Корпус источника ХИ10 Линза фокусировки ионов ХИ11 Отражатель ХИ12 Катод ХИ

13 Псевдокатод14 Изогнутая пружинная шайба15 Плоская шайба

Краткое справочное руководство для оператора МСД серии 5977В 7

Запланированное обслуживание

Задача

Каждую неделю

Каждые 6 месяцев

Каждый год

При необходимости

Настройка МСД X

Проверка уровня масла в форвакуумном насосе

X

Проверка калибровочной виалы X

Замена масла в форвакуумном насосе* X

Замена жидкости диффузионного насоса X

Проверка сухого форвакуумного насоса X

Замена уплотнителя наконечника сухого форвакуумного насоса

X

Замена выходного фильтра сухого форвакуумного насоса

X

Очистка источника ионов X

Проверка фильтров газа-носителя на ГХ и МСД X

Замена изношенных частей X

Смазка боковой пластины или кольцевых уплотнителей клапана напуска†

X

Замена газа-реагента ХИ X

Замена газовых баллонов для ГХ X

* Каждые 3 месяца для МСД с ХИ при использовании аммиака в качестве газа-реагента.

† Вакуумные уплотнители, кроме кольцевых уплотнителей боковой пластины и клапана напуска, не требуется смазывать. Смазка других уплотнителей может препятствовать их правильной работе.

МСД Agilent серии 5977В

Documents

Transcript of МСД Agilent серии 5977В